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Scheduling on Parallel Metrology Tools for Risk Reduction in Semiconductor Manufacturing
1 : Ecole Nationale Supérieure des Mines de St Etienne
* : Auteur correspondant
Unversité Lyon1
158 Cour Fauriel, 42100 Saint-Étienne -
France
| Type : | : | Résumé de 2 pages |
| Langue du texte intégral | : | français |
| Thématiques | : | Méthodes exactes pour les problèmes d'ordonnancement (GT GOTHA) |
| Mots-Clés | : | Scheduling ; semiconductor ; manufacturing ; parallel machines ; metrology ; column generation. |
| PDF version | : |  PDF version |
